提牛科技取得一种硅片承载机构专利便于后续的硅片清洗工作半岛平台(中国)官方网站-bandao.com
时间:2024-08-04 02:41:32bandao体育金融界 2024 年 7 月 31 日消息,天眼查知识产权信息显示,上海提牛科技股份有限公司取得一项名为“一种硅片承载机构“,授权公告号 CN108183082B ,申请日期为 2018 年 2 月。
专利摘要显示,本发明公开了一种硅片承载机构,属于硅片清洗技术领域。该硅片承载机构包括底座、第一硅片承载架和第二硅片承载架,第一硅片承载架和第二硅片承载架对称设置在底座的上表面上,第一硅片承载架的顶部设有多道第一硅片卡槽,相邻两个第一硅片卡槽之间的距离相等,第二硅片承载架的顶部设有多道第二硅片卡槽,相邻两个第二硅片卡槽之间的距离相等,第一硅片卡槽和第二硅片卡槽一一对应,第一硅片卡槽的槽底和第二硅片卡槽的槽底均处于同一弧面上,弧面的半径与该承载机构所承载的硅片的半径相等,第一硅片卡槽和第二硅片卡槽之间的圆心角α小于 180°。该承载机构用于将硅片承载花篮内的硅片顶起,便于后续的硅片清洗工作。
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